德国MechOnics压电式纳米定位台的结构通常包括压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴等多自由度的精密运动。MechOnics压电式纳米定位台这种结构设计使得压电纳米定位台具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器后,可实现纳米级分辨率及定位精度。
查看详细介绍德国MechOnics压电式纳米定位台是一种基于压电效应的高精度定位装置,其工作原理主要依赖于压电陶瓷材料的逆压电效应。当对压电陶瓷施加电场时,其内部原子结构发生微小形变,从而产生机械位移。这种位移可以被控制,以实现纳米级别的运动控制和定位。
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